科林研发(Lam Research)近日发表了世界上第一个以生产为导向的脉冲雷射沉积(Pulsed Laser Deposition, PLD)机台,以实现下世代MEMS麦克风和射频(Radio Frequency,…
科林研发推出世界首款生产导向脉冲雷射沉积设备
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科林研发(Lam Research)近日发表了世界上第一个以生产为导向的脉冲雷射沉积(Pulsed Laser Deposition, PLD)机台,以实现下世代MEMS麦克风和射频(Radio Frequency,…